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赫爾納供應SEMCO退火爐SEMCO 集團是應用于光伏太陽能電池量產的減壓加工的先驅，并擁有與該技術相關的技能。該公司幾年前就開始提供當前的標準，當時高效光伏和大規模生產仍是抽象概念。通過應用公司在半導體行業制定和驗證的專有原則，SEMCO 集團為當今光伏市場中電池制造商的需求鋪平了道路。因此，SEMCO 集團不斷創新以滿足客戶需求，專注于改進磷和硼發射極擴散、熱 SiOx 和 AlOx 生長以及 SiNx 沉積。我們的業務部門 SEMCO Group PVE 提供具有成本效益的解決方案，可提高太陽能電池性能、優化生產線吞吐量并降低運營費用。

赫爾納供應SEMCO退火爐廠家優勢：

減壓擴散間歇式管式爐，使用 POCl3 或 BCl3

應用還包括退火、氮化物、氧氮化物、多晶硅和 TEOS。

減壓氧化間歇式管式爐，濕（去離子水）或干（H2）配置

用于 SiNx 和 AlOx 沉積、鈍化和 PDA 的直接 PECVD 批量式管式爐

用于單面 c-Si 織構和拋光的等離子蝕刻間歇式管式爐

從晶圓到組件的垂直集成光伏生產線

對客戶員工進行生產系統操作的培訓

生產系統 24/7 運行所需的消耗品和備件

工藝和生產階段的優化

維護服務，包括升級和翻新設備。

產品簡介：

JETLIGHT 是 Jipelec 入門級軟件控制臺式快速熱退火 (RTA) 系統。JETLIGHT 是一種緊湊而堅固的高速熱處理系統，適用于各種材料基板和結構（鋼、玻璃、c-Si 太陽能、III-V、II-VI、鍺、超導體）的快速熱退火 (RTA)和陶瓷），最大尺寸為 2 英寸直徑。（50 毫米）。JETLIGHT 的規格和功能滿足希望在多用戶環境中啟動 RTP 的大學和研究中心的要求。該爐配備了管狀石英反應室，因此可以處理最大長度為 150 毫米的三維樣品。該過程在大氣壓或真空下（使用或不使用氣體）進行。PID 系統可在整個溫度范圍內提供準確且可重復的熱控制。?

SEMCO退火爐特征：

熱壁室設計。

基板尺寸可達 50 毫米直徑。和 150 毫米長。

微處理器控制的晶閘管技術

最多兩 (2) 條氣體引入線

大氣和真空處理能力。

專用的過程控制軟件。

SEMCO退火爐應用：

植入物和觸點的快速熱退火 (RTA)

快速熱氧化 (RTO) 和氮化 (RTN)

快速熱擴散 (RTD) - 例如旋涂摻雜劑

結晶、致密化和結構應力松弛

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