inficon熱電離真空計BPG552-德國赫爾納(大連)公司
inficon熱電離真空計BPG552總部直接采購,原裝,貨期,支持選型,為您提供一對一解決方案:赫爾納大連公司在中國設有多個個辦事處,可為您提供的維修服務。
INFICON公司簡介
INFICON是儀器,關鍵傳感器技術和過程控制軟件的提供商,這些產品可復雜工業真空工藝的生產率和質量。這些分析,測量和控制產品對于空調/制冷和汽車制造中的氣體泄漏檢測。對于光學和平板顯示器,太陽能電池和工業真空鍍膜應用中的半導體和薄膜鍍膜的復雜制造,它們對于設備制造商和終用戶。我們基于真空的工藝的其他用戶包括生命科學,研究,航空航天,包裝,熱處理,激光切割和許多其他工業工藝。
對于需要測量范圍從 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1000 mbar) 的應用,Trigon™ 系列包括雙技術 BPG552 儀表。BPG552 由 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和經典、堅固且可靠的 Pirani 傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲提供的精度、可重復性和使用壽命。
inficon 熱電離真空計BPG552優點
ü 雙量規(2 個傳感元件)可實現寬測量范圍、降低成本并節省空間
ü Bayard-Alpert 系統的 2 根燈絲
ü 皮拉尼聯鎖保護以避免燈絲過早燒毀
ü 自動高真空皮拉尼調節減少了操作員干預
ü 電隔離電子器件以避免雜散電流
ü 滑動排放模式可避免切換排放流時壓力跳躍和凍結
ü 由于可拆卸校準數據芯片,可烘烤性更長
ü 設定點繼電器
ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉),帶用戶界面
ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®
ü 可與 VGC50x 控制器系列結合使用
ü 向后兼容 BPG402
ü RoHS 合規性
inficon 熱電離真空計BPG552典型應用
· 半導體工藝中的壓力測量
· 工業涂料
· 低至真空范圍系統的一般真空測量和控制
inficon 熱電離真空計BPG552規格
測量范圍(空氣、O 2、CO、N 2) 5×10 -10 … 1000 毫巴
準確性
1×10 -8 … 1×10 -2毫巴 ±15 讀數
1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴 讀數的±30%
重復性:讀數的 5%,10 -8 … 10 -2 mbar(穩定 10 分鐘后)
暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢
inficon 熱電離真空計BPG552備件零件號 描述
354-420 BPG552 備用傳感器頭,KF25
354-421 BPG552 備用傳感器頭,CF40